・マスターモールドの製造設備は、基本的にフォトマスクベンダが抱えてる
・モールドパターンは等倍だから、プロセス・検査共に精度が段違い
・モールドは絶縁体だから、フォトマスク専用SEMに帯電対策が必要
・モールドはパターン高さも重要だから、AFMでの多点計測が必要
・レプリカ装置は転写だけで、その後ハードマスクと石英のエッチングが必要
・レプリカモールドも使用前には、マスターと同等の検査とそれ用の設備が必要

モールド周りは実際に使う以前に、ざっと考えただけでもこれだけ課題が有る
ずっとNILが眉唾扱いなのは、これを誰も負担したくない上に、
転写にもスループット、アライメント、異物・欠陥の根本的課題が有るからだよ