東大、アクリル板と水だけでガラスとシリコン表面の平坦化できる技術を開発
著者：波留久泉

　東京大学(東大)は3月3日、アクリル板と水道水だけを用いた低コストかつ低環境負荷の革新的な研磨技術を開発したと発表した。

　同成果は、東大大学院 工学系研究科 精密工学専攻の三村秀和准教授、同・郭建麗大学院生らの研究チームによるもの。
　詳細は、応用物理学を扱う学術誌「Applied Physics Letters」に掲載された。

（以下略、続きはソースでご確認ください）

マイナビニュース　2022/03/07 15:44
https://news.mynavi.jp/techplus/article/20220307-2287181/