【半導体】韓国機械研究院、400nm級の超微細半導体回路リソグラフィ装置を国産化 [すらいむ★]
■ このスレッドは過去ログ倉庫に格納されています
韓国機械研究院、400nm級の超微細半導体回路リソグラフィ装置を国産化
韓国科学省傘下の韓国機械研究院（KIMM）が、韓国で初めて400nm（ナノメートル）級のレーザー直接描画（リソグラフィ）装置の国産化に成功した。
半導体の生産性を飛躍的に向上させることができる技術として期待を集めている。
KIMMの研究チームは、400nmレベルの微細な焦点を毎秒40mm速度で移動し、基板上にコーティングされたレジストを加工することができるレーザーリソグラフィ装置を開発した。
（以下略、続きはソースでご確認下さい）
コリア・エコノミクス 2021年8月12日 2021年8月12日
http://korea-economics.jp/posts/21081208/ 400nm級の超微細半導体回路？
今 最新 2nm出なかった？ >>1
日本がレジストを輸出禁止にしたらどうなるの？ 大日本印刷、5ナノメートル対応 EUVリソグラフィ向けフォト ...
bakatixyon パターンニングしてるだけのように感じるね
今ならEUVのレチクルを大日凸版印が作る様だね 現場で使えるようになるのは3年後です ってオチだろｗ コリアエコノミクスとか韓国の電機関係ニュースは面白くていいわ
ニュースイッチ見ててもあんま夢がない 100円ショップで売っているLEDライトの基盤みたいなもんか ４００ナノメートルで微細てやっぱキチガイはちがうな レーザーリソグラフィだとマスクレスにできるけど、解像度が低い。400nmだと近紫外かなあ。
でもマスクレスは電子線リソグラフィが主流かと思っていたけど… 30年ぐらい前はクオーツマスクを投入すると
アンローディングされるのに20日ぐらいかかっていたのだ また韓国が先進技術で世界の度肝を抜いたのか
技術大国と称される韓国だが日本は相手にもされずアメリカさえ抜いた可能性ある > 国産化
こういうワードがいちいち出る
劣等感に満ち溢れたチョンらしい >>21
レーザーリソグラフィは3000万円で1ミクロンだな 韓国が何度も半導体を国産化したって言うけど首根っこは日本にガッツリ掴まれてて無理な話ってレコチャイに書かれてたぞ >>29
結局道具を作るための道具を内需で自国生産出来ないから輸入するしか無いっていう というか絶不調のニコンが作るステッパー（線じゃなくて面で一気に焼くやつ）が２０−３０ｎｍぐらいだろ
今時の最先端プロセスも配線は大体これくらいで作っている
ちなみに日本電子の線で描く（遅いからマスク作成や特殊なデバイスに使ったりする）
電子線ビーム描画装置が数nmらしい
なんでワザワザ分解能が３０年前の水準のを
波長が長い光なんかのビームで作ろうとしたんだろうか？？？ 400nmって国からお金貰って作ってみたけどこの程度しか出来ませんでしたってやつだろ？ｗ 素人だけど、走査速度が格段に速いとか何か売りが有るんじゃ無いの？ 日本の特許使わない様に試行錯誤した結果が400nm5なのかな？ サムスン元社長が中国半導体企業の経営陣に！業界に衝撃走る＝韓国ネットは猛批判
https://www.recordchina.co.jp/b813054-s0-c20-d0127.html
泥棒サムスンが日本にした通り中国にやられています
神の国日本で泥棒を働いた極悪人に
もうすぐ天罰が下ります 泥棒サムスンが盗んだ日本の技術
https://diamond.jp/articles/-/44210
ある有名エンジニアが
突然、姿を消してしまった
サムスンにまんまとやられたお人よし日本 あほ日本 サムスンは日本で暴れまくり
こんなこと許していいのか
サムスンに買われた日本の技術者ランキング
https://diamond.jp/articles/-/44461
どれだけいるんだ みんな使い捨て 公安の方しっかり調査してください 東芝社長 佐波 正一 東京大学電気工学卒
サムスンに半導体の技術供与 当時日立の社長が技術流失になるからやめろと警告
サムスンは世界一の半導体会社に成長 日本の半導体産業壊滅 >>1これからは４nm（nm=ナノメートル、10億分の1メートル）クラスの微細加工技術を使わないと、処理能力・消費電力など、
基本的な特性要求を満たせないらしいよ。４００ｎｍ級技術で大丈夫なのかぁ？ 今回開発された技術を適用すると、既存のリソグラフィ技術で実装するのには限界がある3次元ナノ-マイクロ複合構造体を実現することができるだけでなく、
任意の形状の表面にもナノ構造体を実現することができるとKIMMは強調した。
イム・ヒョンジュン責任研究員は、「レーザー直接リソグラフィは、機械、光学、材料、電子工学など様々な分野が融合される代表技術」であるとし、
「生産工程の経済性を大幅に向上させることができ、今後の世界市場の主導権を確保することが期待される」と述べた。
よくわからんけど他国より進んでるのか？ >>5
基本技術が全く活かされず研究費用削減されるくらいならパクられて世に活かされる方がマシだろw
ってか基本ならパクリもクソもなくね 数字ミスだろ。こんなの30年前に通過してる。いくら後進国でもこれはないわ 特許取得か
3Dリソグラフィはまだこれからの分野だしな
集積回路が3D化するのは必然
そしてナノマシンの時代か これは画期的だな
チップもChip-StackingやWafer-StackingなどのいわゆるSystems on Integrated Chipsではなく、Systems Inexhaustibleが主流となり、形状もCube typeなどが登場するだろう マスクレス露光より優れた点があるんかな？ってソースの写真見たらほんとにライバルはマスクレス露光機だねこれは。
0.4umならふつうはKrFのスキャナがあるから、こんな描画が遅いの製品には使われないから、研究開発用でしょう。 投影用のバケモノのような光学系がいらんってことでないの？
レーザーマーカーの微細版のような。 >波長が405㎚の青紫色レーザーダイオードを利用して、400㎚サイズの非常に微細な焦点を作り
市販のステージ顕微鏡の照明系改造し
40倍対物付けて出来上がりだわ ■ このスレッドは過去ログ倉庫に格納されています
