0001すらいむ ★2021/08/13(金) 16:21:06.38ID:CAP_USER
韓国機械研究院、400nm級の超微細半導体回路リソグラフィ装置を国産化
韓国科学省傘下の韓国機械研究院（KIMM）が、韓国で初めて400nm（ナノメートル）級のレーザー直接描画（リソグラフィ）装置の国産化に成功した。
半導体の生産性を飛躍的に向上させることができる技術として期待を集めている。
KIMMの研究チームは、400nmレベルの微細な焦点を毎秒40mm速度で移動し、基板上にコーティングされたレジストを加工することができるレーザーリソグラフィ装置を開発した。
（以下略、続きはソースでご確認下さい）
コリア・エコノミクス 2021年8月12日 2021年8月12日
http://korea-economics.jp/posts/21081208/ 0018名無しのひみつ2021/08/13(金) 16:43:46.58ID:CHQUkWZu
100円ショップで売っているLEDライトの基盤みたいなもんか
0019名無しのひみつ2021/08/13(金) 16:46:04.80ID:CHQUkWZu
こんなもの取り上げて
はずかしくないの
0020名無しのひみつ2021/08/13(金) 16:47:20.58ID:CQA8l+vw
４００ナノメートルで微細てやっぱキチガイはちがうな
0021名無しのひみつ2021/08/13(金) 16:47:32.35ID:LF2tDush
レーザーリソグラフィだとマスクレスにできるけど、解像度が低い。400nmだと近紫外かなあ。
でもマスクレスは電子線リソグラフィが主流かと思っていたけど…
30年ぐらい前はクオーツマスクを投入すると
アンローディングされるのに20日ぐらいかかっていたのだ
また韓国が先進技術で世界の度肝を抜いたのか
技術大国と称される韓国だが日本は相手にもされずアメリカさえ抜いた可能性ある
0024名無しのひみつ2021/08/13(金) 16:54:17.17ID:7OK+atrh
> 国産化
こういうワードがいちいち出る
劣等感に満ち溢れたチョンらしい
0025名無しのひみつ2021/08/13(金) 16:55:02.63ID:my7kljfF
今どき技術も能力も実績もない国がやってもおせーよ
0026名無しのひみつ2021/08/13(金) 16:55:04.47ID:Y5PPTLOc
>>21
レーザーリソグラフィは3000万円で1ミクロンだな 0027名無しのひみつ2021/08/13(金) 17:04:29.57ID:W6I2lILB
ノーマル賞は
もらったにだ
0029名無しのひみつ2021/08/13(金) 17:08:08.90ID:Fq3fxoK+
韓国が何度も半導体を国産化したって言うけど首根っこは日本にガッツリ掴まれてて無理な話ってレコチャイに書かれてたぞ
0030名無しのひみつ2021/08/13(金) 17:10:24.47ID:CHQUkWZu
バイオセンサー
いつできるの？
>>29
結局道具を作るための道具を内需で自国生産出来ないから輸入するしか無いっていう 0032名無しのひみつ2021/08/13(金) 17:20:53.67ID:78wBduiN
K6-2 300MHzを使うときが来たか
0033名無しのひみつ2021/08/13(金) 17:33:26.57ID:Cb9+QBfx
またじゃっぷからぬすんだのか
0034名無しのひみつ2021/08/13(金) 17:35:50.72ID:UtTYl4US
というか絶不調のニコンが作るステッパー（線じゃなくて面で一気に焼くやつ）が２０−３０ｎｍぐらいだろ
今時の最先端プロセスも配線は大体これくらいで作っている
ちなみに日本電子の線で描く（遅いからマスク作成や特殊なデバイスに使ったりする）
電子線ビーム描画装置が数nmらしい
なんでワザワザ分解能が３０年前の水準のを
波長が長い光なんかのビームで作ろうとしたんだろうか？？？
0035名無しのひみつ2021/08/13(金) 17:44:41.78ID:qTmMg7WD
メイド・イン・チョンコ （ ´,_ゝ｀）ﾌﾟｯ
0038名無しのひみつ2021/08/13(金) 18:27:27.10ID:0KTjQxqN
400nmって国からお金貰って作ってみたけどこの程度しか出来ませんでしたってやつだろ？ｗ
0039名無しのひみつ2021/08/13(金) 18:41:29.86ID:TKmkhkQ/
素人だけど、走査速度が格段に速いとか何か売りが有るんじゃ無いの？
日本の特許使わない様に試行錯誤した結果が400nm5なのかな？
0041名無しのひみつ2021/08/13(金) 19:04:26.22ID:/dSTidGW
0042名無しのひみつ2021/08/13(金) 19:04:58.32ID:/dSTidGW
0043名無しのひみつ2021/08/13(金) 19:05:32.69ID:/dSTidGW
0044名無しのひみつ2021/08/13(金) 19:06:15.92ID:/dSTidGW
0045名無しのひみつ2021/08/13(金) 19:06:55.23ID:/dSTidGW
東芝社長 佐波 正一 東京大学電気工学卒
サムスンに半導体の技術供与 当時日立の社長が技術流失になるからやめろと警告
サムスンは世界一の半導体会社に成長 日本の半導体産業壊滅
0046名無しのひみつ2021/08/13(金) 19:12:29.05ID:AbkbBj3v
0048名無しのひみつ2021/08/13(金) 19:34:45.05ID:eusTzFdE
0050名無しのひみつ2021/08/13(金) 19:52:27.55ID:tsD7fy23
>>1これからは４nm（nm=ナノメートル、10億分の1メートル）クラスの微細加工技術を使わないと、処理能力・消費電力など、
基本的な特性要求を満たせないらしいよ。４００ｎｍ級技術で大丈夫なのかぁ？ 0051名無しのひみつ2021/08/13(金) 20:06:07.45ID:TnYC97uc
プークスクス
0052名無しのひみつ2021/08/13(金) 20:12:35.08ID:Amg4i5CX
今回開発された技術を適用すると、既存のリソグラフィ技術で実装するのには限界がある3次元ナノ-マイクロ複合構造体を実現することができるだけでなく、
任意の形状の表面にもナノ構造体を実現することができるとKIMMは強調した。
イム・ヒョンジュン責任研究員は、「レーザー直接リソグラフィは、機械、光学、材料、電子工学など様々な分野が融合される代表技術」であるとし、
「生産工程の経済性を大幅に向上させることができ、今後の世界市場の主導権を確保することが期待される」と述べた。
よくわからんけど他国より進んでるのか？
0053名無しのひみつ2021/08/13(金) 21:46:52.42ID:eMIeKJFv
>>5
基本技術が全く活かされず研究費用削減されるくらいならパクられて世に活かされる方がマシだろw
ってか基本ならパクリもクソもなくね 0054名無しのひみつ2021/08/14(土) 00:12:34.73ID:RVLTGFGN
自慢が足りないので よくわからない
数字ミスだろ。こんなの30年前に通過してる。いくら後進国でもこれはないわ
0058名無しのひみつ2021/08/14(土) 03:12:53.17ID:glO2xqs4
二桁違わないか？
0060名無しのひみつ2021/08/14(土) 11:00:57.44ID:eMdqwBQU
ヤグとか可視光の波長ならそんなものだろ
特許取得か
3Dリソグラフィはまだこれからの分野だしな
集積回路が3D化するのは必然
そしてナノマシンの時代か
これは画期的だな
チップもChip-StackingやWafer-StackingなどのいわゆるSystems on Integrated Chipsではなく、Systems Inexhaustibleが主流となり、形状もCube typeなどが登場するだろう
0063名無しのひみつ2021/08/14(土) 11:17:41.46ID:yz2I6mLq
マスクレス露光より優れた点があるんかな？ってソースの写真見たらほんとにライバルはマスクレス露光機だねこれは。
0.4umならふつうはKrFのスキャナがあるから、こんな描画が遅いの製品には使われないから、研究開発用でしょう。
0064名無しのひみつ2021/08/14(土) 11:40:02.32ID:qv3X91fl
どっかの高校の実験で出来たとかなら誇ってもいいぞ
0065名無しのひみつ2021/08/14(土) 12:22:45.93ID:YTJ000YR
投影用のバケモノのような光学系がいらんってことでないの？
レーザーマーカーの微細版のような。
0067名無しのひみつ2021/08/19(木) 23:56:08.11ID:Axus2yUF
0068名無しのひみつ2021/08/20(金) 00:22:53.08ID:uXOVTw7G
>波長が405㎚の青紫色レーザーダイオードを利用して、400㎚サイズの非常に微細な焦点を作り
市販のステージ顕微鏡の照明系改造し
40倍対物付けて出来上がりだわ
