0020名刺は切らしておりまして垢版 | 大砲2017/07/13(木) 08:37:14.02ID:INvJkZQ7 >>19 追いつけてないというより脱落した感じがする EUVはミラーで集光するので 日本光学には難しいんじゃないの。 キャノンは随分前にArF液浸で脱落した。 http://shikiho.jp/tk/news/articles/0/41821 TSMCは7nmをArF液浸Quadで立ち上げるつもりだからEUVで先行してるのは確かだな。