>>19
追いつけてないというより脱落した感じがする
EUVはミラーで集光するので
日本光学には難しいんじゃないの。

キャノンは随分前にArF液浸で脱落した。
http://shikiho.jp/tk/news/articles/0/41821

TSMCは7nmをArF液浸Quadで立ち上げるつもりだからEUVで先行してるのは確かだな。