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【半導体】サムスン、18年に最先端技術で半導体量産 TSMCに先行 [無断転載禁止]©2ch.net
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2017/07/11(火) 22:02:20.42ID:CAP_USER
http://www.nikkei.com/article/DGXLASDX11H0K_R10C17A7FFE000/

2017/7/11 21:45

 【ソウル=山田健一】韓国サムスン電子は11日、半導体の受託生産事業の技術戦略を取引先などに説明した。次世代の回路線幅7ナノ(ナノは10億分の1)メートルの半導体を最先端の製造技術を取り入れて2018年から量産する。IT(情報技術)の進化に重要な技術革新で、受託生産で世界首位の台湾積体電路製造(TSMC)に先行する。

 受託生産するのは電子機器の頭脳部となる大規模集積回路(LSI)。サムスンはソウルで開いた説明会で、性能のカギを握る回路線幅の微細化について記したロードマップを示した。新たな製造技術「EUV(極紫外線)露光」を使った7ナノ品を18年、その次の5ナノ品と4ナノ品をそれぞれ19年と20年に顧客から注文を受ける方針を伝えた。

 EUVは回路の形成工程を大幅に効率化でき、7ナノ未満の商用化は難しいとされた微細化を可能にする革新技術。サムスン幹部は「全面的に量産工程に採用するのは当社が世界初」と強調する。TSMCは19年に導入する計画を明かしている。

 サムスンやTSMCが受託生産する半導体は、あらゆるモノがネットにつながるIoTや人工知能(AI)の発達に欠かせない。技術面ではサムスンが先行する例が多く、売上高では受託生産市場で5割以上の世界シェアを握るTSMCが大きくリードする。

 同じ韓国の半導体大手SKハイニックスは、受託生産事業を分社化したと発表した。新会社は「SKハイニックスシステムIC」。自社製品と受託生産品の情報を厳密に分けて管理し、新規顧客の信頼を得たい考えだ。
0002名刺は切らしておりまして
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2017/07/11(火) 22:44:43.19ID:IwOIzUje
どこの国から仕入れた産業機械でライン組んだか知らんが、
高くついた事だろうなあ。

ビジネスのやり方としては正しいと思うが、
投資回収できるまでは横着しちゃいかんよ。
0003名刺は切らしておりまして
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2017/07/11(火) 22:59:01.73ID:utxyJJO0
半島有事の時は、サムスンは、攻撃対象になっているのかな??
0005名刺は切らしておりまして
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2017/07/11(火) 23:08:31.17ID:WvXKx7ha
露光機のトップ走っているのはオランダのASMLだったはずだから、サムスンのASMLかな。

NVIDIAがチャレンジ好きな客でTSMCが早期からNVIDIAと組みASMLの露光機使ってというTSMCのやり方の上を行く?
0006名刺は切らしておりまして
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2017/07/11(火) 23:23:35.12ID:rpeXZUtD
TSMCの返り討ちにあって虎の子のクアルコムまで取り返されたサムスン。
派手に進軍ラッパを吹かないと、国民が許さない。
またTSMCに叩かれだろうが。
0008名刺は切らしておりまして
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2017/07/11(火) 23:47:46.24ID:IwOIzUje
>>3
開戦直後のロケット砲飽和攻撃で無差別だろうから、
運が悪ければ高額機器が被害受ける。
0009名刺は切らしておりまして
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2017/07/11(火) 23:49:14.44ID:WvXKx7ha
>>7
TSMCは稀に穴塞がっちゃうからビアの数増やすせとNVIDIAともめたり、
ASMLの装置でEUV苦労したりと色々トラブっているけどその分チャレンジが技術となって身についていそう。
0010名刺は切らしておりまして
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2017/07/12(水) 00:10:57.44ID:UOV3+dK5
>>9
そういう応用や機転はサムスンは苦手なイメージ。
0013名刺は切らしておりまして
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2017/07/12(水) 18:09:44.13ID:Zfzt3fhm
>>2
東芝も追いつくためには1兆か2兆円必要って言われてる時に投資したからさらに1兆円とか必要になるんだね
0015名刺は切らしておりまして
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2017/07/12(水) 18:57:59.32ID:UOV3+dK5
>>14
なにが一番なんだろうね、マジで
0018名刺は切らしておりまして
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2017/07/13(木) 00:33:40.31ID:V7XqejpE
先行する!(いつもの妄想)
0020名刺は切らしておりまして
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2017/07/13(木) 08:37:14.02ID:INvJkZQ7
>>19
追いつけてないというより脱落した感じがする
EUVはミラーで集光するので
日本光学には難しいんじゃないの。

キャノンは随分前にArF液浸で脱落した。
http://shikiho.jp/tk/news/articles/0/41821

TSMCは7nmをArF液浸Quadで立ち上げるつもりだからEUVで先行してるのは確かだな。
0021名刺は切らしておりまして
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2017/07/13(木) 12:45:35.62ID:M28+PNb5
さっさとスナドラ835生産しろよ、全然間に合ってねえぞ
0022名刺は切らしておりまして
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2017/07/13(木) 14:09:59.43ID:ME5smhEX
キヤノンとニコンのステッパーはトドメを刺されたかも
コーターデベはTELだね
0023名刺は切らしておりまして
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2017/07/13(木) 14:43:54.62ID:+nvko3sT
インテルは微細化で、とうとう抜かれたのか
0024名刺は切らしておりまして
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2017/07/17(月) 11:38:57.25ID:VLBAagTW
>>1
>製造技術「EUV(極紫外線)露光」を使った7nmを2018年、
>その次の5nmと4nmをそれぞれ2019年と2020年に顧客から
>注文を受ける方針を伝えた。

           ↑
2016年にサムスンが7nmプロセスはEUV露光ステッパーを大量導入すると
決めた時点で終っているよ。

EUV露光は7nmどころか10nmすら満足に出来ないから、他社はさじを投げて
いるのに、EUVが2020年までに使い物になるかすら怪しい装置だよ。

ArF液浸方式は7nmまで日本も出している。
0025名刺は切らしておりまして
垢版 |
2017/07/17(月) 11:50:35.78ID:HPxkHtQE
>>24
サムソンのプレスリリースは、ガセも多いから鵜呑みに出来ないけど
どっちにしても、開発はASML抜きで出来るわけも無く、勝ち目の無い
投資に資本を投入し続けるわけも無い。ただ、今のところキヤノンの
ナノインプリントが勝者になるとはもっと思えない。
0026名刺は切らしておりまして
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2017/07/17(月) 11:56:49.72ID:DgL7SGLR
情報強者の賢人を豪語するネトウヨ様がまったく寄り付かなくなった
サムスンスレッド。
0027名刺は切らしておりまして
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2017/07/18(火) 06:25:47.78ID:3tMwDacg
 
2016年8月、サムスンが10nmを生産開始したとホルホル発表

      そして現実がこれ・・・・

サムスンは去年8月に10nmラインを稼動させたと発表。しかし、現実は
未だに稼動できないカス状態。サムスンは自社品の10nmすら危ない状態。

サムスンは10nm量産ラインを去年の8月に生産開始したと自慢げに
ホルホル発表したが、未だに良品が取れない酷い状態が続く。

ウェハー1000枚から百個程度の良品チップが取れるかどうかメチャクチャ
な酷いありさま。ロット1000枚が全て全滅が去年から続いている。

こんなんだから、米クアルコム自体の存続を左右する世界販売用の
「スナップドラゴン830」は品質が安定したTSMCで生産させる理由。
TSMCは予備で12nmラインも動いている。

それから、世界で10nmラインの稼動実績のある技術者はTSMCのみ。
10nmラインを動かせるエンジニアは重要なんだよ。

そうそう、サムスンの10nm量産ラインの技術者が中国XMCに100人
単位でどんどん引き抜かれているからボロボロ原因なんだけどね。

10nm量産ラインが上手くいかないから格上の朝鮮人幹部が格下の現場を
ガンガン怒鳴りつけるから、怒ったベテラン生産技術者達は、
中国から高給で誘われているから、どんどん喜んで辞めて行くお笑い状態。

自動車の生産ラインと同じで、職人を大量に引き抜かれて、そこに素人
バイトを配置しても作れないのと同じ。まして半導体はもっと難しい。

そしてサムスンで真ともに動いているラインは14nm量産ラインだけ。
 
0028名刺は切らしておりまして
垢版 |
2017/07/19(水) 03:51:13.21ID:gMlCiBm9
SEMIのミッションに
世界の業界と環境に好影響を及ぼす活動を支援します
だけでなく、装置メーカーの人が、半導体メーカーで働く環境改善も
ミッションに入れてほしい。

SEMIは、技術的な事だけ行うのでなく
装置メーカーの人が、半導体メーカーで、どのように
働いているかを調査して、半導体メーカーに
働きかける活動もしてほしい。

半導体装置関係の団体は、SEMIぐらいしかない?
他に適した団体があるか?
0029名刺は切らしておりまして
垢版 |
2017/07/19(水) 05:33:55.57ID:YBsxVj2R
あれ、日本のロジック先端プロセスはどこに行ったの?エンジニアは?リソグラフィは?あ、日本の先端は40nmかww
0032名刺は切らしておりまして
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2017/07/19(水) 10:18:24.33ID:gMlCiBm9
今の先端のプロセスだと、マスク1セット いくらぐらいですか?

100nmの時は、いくらだったか。
忘れてしまった。
0033名刺は切らしておりまして
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2017/07/19(水) 11:03:30.52ID:6bgZLosN
>>29
もはや半導体から逃走した日本人にはサムスンさまを貶めることしかできないんだろw
卑しいねえ。
0034名刺は切らしておりまして
垢版 |
2017/07/19(水) 15:26:20.49ID:Ph7Mj+V9
サムソンのプレスリリースをガセだと非難しても扱き下ろしても、
日本企業が浮上するわけではない。
現実として、サムソンの部門別売上を見ても、どれ一つを取っても
日本企業が勝ってるものは無い。
ここでサムソンを嘲ってもオナニー以上の意味は無い。
脳みそ使って、他に考えることは山ほどある。
0035名刺は切らしておりまして
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2017/07/20(木) 13:11:20.03ID:Cy5W06F9
サムスンは終ったなあw
他人から盗む限界に達したてことだろ。
0038名刺は切らしておりまして
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2017/07/23(日) 15:54:43.88ID:ieJzQOnE
IBMとグローバルファウンドリーが共同開発する5nmは
EUV露光では2020年になっても難しいし、
使い物になるか分からない言っているのに。

ASML社のEUV露光では無理、アメリカで独自開発するしか無いとまで言っている。
0041名刺は切らしておりまして
垢版 |
2017/07/25(火) 08:38:45.21ID:XolPkcQh
サムソンさん聞いてますか?
研究によると、従業員らが自分たちに敬意が払われていないと感じると、彼らのパフォーマンスは低下する。
#WSJ

ファンドリービジネスを10%シェアから25%シェアにしようとしている。
#EETIMES
0042名刺は切らしておりまして
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2017/07/25(火) 10:27:18.13ID:HADt+gm+
>>1
91: 2017/07/07(金) 21:44:23.02 ID:G0s8/ac1

NY市場に上場できないサムチョンは
嘘決算しまくり放題

96: 2017/07/07(金) 21:58:47.41 ID:G0s8/ac1

チョン企業は粉飾なのでNY市場に上場してる企業が一つもない
世界で競争するならNYに上場するのが当然
ソニートヨタホンダアップルインテルマイクロソフトみんなNYに上場してる
0043名刺は切らしておりまして
垢版 |
2017/07/25(火) 12:39:32.93ID:kadOXW8O
         城 島 さ ん が 安 全 性 P R

福島県産品、「TOKIOは言うぞ、ホントの福島!おいしい福島!」(2017/7/23 福島民報)
県産農産物の魅力発信 東京で新CM発表会 知事、「TOKIO」の城島さんが安全性PR
http://www.minpo.jp/pub/topics/jishin2011/2017/07/post_15269.html
城島君の被曝は避けられないだろう カルマは重いぞ!
https://twitter.com/東海アマ/status/889221609160036352


   最 近 、 ガ ン の 死 亡 者 、 日 本 が 一 番 酷 く


はっきり言います、福島はぜんぜん解決していません。
終息宣言なんてぜんぜん嘘ですからね。

何も終わっていない、どんどん酷くなっているんです、今は。
で、よくね放射能、これキャベツ、入っていません、これ嘘ですから。
ある一定のランク以下、未満は、全部ゼロ表示されます。
99入ってるんだけど、100じゃなかったらゼロになっちゃうんです。
それで皆、買ってるんですよ。
だから最近、ガンの死亡者、日本が一番酷くなっている。
これから二人に一人になってくる。
全部フクシマです。
関東地区で今、若い人たちが次々死んでいる、ポックリ病で、原因不明だ、放射能です。
放射能を浴びた人は、心筋梗塞と脳梗塞でやられちゃうんです。
血栓がたまるんです。
だから若い人でも。心筋梗塞と脳梗塞で死んだら、これ放射能で死んだと思ってください。
ロシアそうだから、絶対、日本は言いません、自民党が言うわけないじゃないですか。
だって原発どんどん再稼働させたいわけですから。
こんな国に住んでるんですよ。

放射性物質を運ぶときにバケツで運んだり、いや、平気でやってますから、日本の場合は。
前も、プルトニウム爆破しても平気でしょ、あんなの手で開けるなんて、馬鹿ですよ。

もっと言うと、時々だけど、本当に時々だけど、関東の川で妙なものがでている。
放射性物質、公表されてない。

ものすごい放射能の雲が東京を横切って、横浜を横切って、大変なことになったんだよ。
でも日本ではテレビでも、お笑いがゲラゲラやってるだけですよ。

実はこれぜんぜん発表されてませんけど、電源止まったことあるんですよ。
311があったあと、一年後くらいかな、7月か、そうそう。
あの時、大変なことになったんです、完全に電源とまったんです、発表してませんよ。
東京は壊滅するところでした、あと一時間、水が・・・メルトダウンじゃないんですよ。
そんなもんじゃない、崩れ落ちていくんです、次々と。
そしてもの凄い上昇気流が上がって、放射性物質が1万メートル越えるんです。
で史上最大のキノコ雲ができあがる、それがシャワーになって落ちてくる。
放射性物質のシャワー、これスカイシャイン現象って言って、全部、即死です。
日曜日ギリギリでセーフでしたけど、こんなこと発表してます?
自民党が言うわけないでしょ、あんな嘘つきの党が、信用しちゃだめですよ政府なんて。

(2時間6分〜)

「飛鳥ゼミナール34」飛鳥昭雄 エクストリームサイエンス アーカイブ全編公開中
https://www.youtube.com/watch?v=G3V7YsVRff0
0044名刺は切らしておりまして
垢版 |
2017/07/26(水) 20:01:21.85ID:jxS1wl9D
ASML社のEUV露光で20nm、15nmで真ともに複雑なLSIを作れたところが無いんだが。

EUV(弱レントゲン線)はレンズが一切使えないから、
凹面鏡を何枚も使って光線を絞って行くんだが、
問題はこのレントゲン線用の凹面鏡に50nmの凹凸が
有るだけで光線は乱れる。

物理的にガラスレンズと違って金属の面鏡の表面を50nm以下に
ツルツルに出来ないことだ。

レンズはコーティングすることで表面は1nmレベルのツルツルになる。

金属の面鏡にはコーティングも出来ない。空気に触れるだけで
レントゲン線は劣化してしまうほどで、コーティングが来ない。
0045名刺は切らしておりまして
垢版 |
2017/07/29(土) 09:28:26.78ID:WAxdZNEG
先見の明
0046名刺は切らしておりまして
垢版 |
2017/07/29(土) 12:17:35.10ID:IHOgUda0
>>1
★★★ 朝鮮人は近親相姦を繰り返した劣等遺伝子民族 ★★★

米人類学者Cavalii−Sforzaの遺伝子勾配データによれば、
朝鮮人は世界でも類を見ないほど均一なDNA塩基配列の持ち主であり、
これは過去において大きな Genetic Drift
(少数の人間が近親相姦を重ねて今の人口動態を形成)か、
あるいは近親相姦を日常的に繰り返す文化の持ち主だった事を表します。

韓国では、昔から若くて綺麗な娘達は中国に献上されていたので、
女性が足りず近親相姦が繰り返されてきた。
遺伝子レベルで見ても「父と娘」「母と息子」が結ばれないと出来ない遺伝子が
大多数見つかっている。
http://a-draw.com/contents/uploader2/src/a-draw1_25637.jpg
http://blogimg.goo.ne.jp/user_image/4c/88/5bca77df937aff6e699a564efdc869bb.jpg
http://30.media.tumblr.com/tumblr_l7e93q9sR71qa2hcyo1_500.jpg


韓国の評論家 金満哲の言葉

同胞韓国人は嘘つきばかりである。
私はそのことが恥かしく、情けない。
「韓国は独力で近代化を成し遂げた」だって?馬鹿を云うな。
韓国の近代化は日本の莫大な資本と人材の投与によって成し遂げられたものである。
「韓国は日本の統治に抵抗をもって対抗した」だって。
馬鹿馬鹿しい。 同胞韓国人はロバのように日本の統治を甘受したのが実態だ。
ごくごく一部の抵抗はあったが上から下までみんな日本に憧れ、
日本人になろうとしたのだ。
日本軍に強制されて従軍慰安婦させられた?恥を知れ。
朝鮮半島では考えられない高い給金と高待遇に引かれ、
あわよくば日本人男性に取り入りたかった売春婦がいただけだ。
「韓国が独立したのは韓国の手によるものだ」にいたっては呆れてものも言えない。
誰も日本からの独立など望んでいなかったのにアメリカに強制的に独立させ
られたというのが真実だ。
「漢河(ハンガン)の奇蹟」だって!笑わせる。
日本から賠償金という名目で莫大な経済援助と技術援助で成し遂げられたものだ。
これだけお膳立てしてもらえばどんな未開民族でも経済成長するだろう。
「日本文化の祖が韓国」とは恐れ入る。
一体、併合前の朝鮮半島のどこに「文化」なるものがあったのか。
併合前、我々先祖は乞食同然の生活をしていたではないか。
現在の韓国の姿、まさに他人により作られた砂の楼閣だ。
虚飾と偽善と歪曲とおごりに満ち満ちている、真似と依存と歪曲が全てである。
このような韓国の本質を知らず「韓国こそ世界一」などとほらを吹いて
自己満足している本国、在日の韓国人は正気の沙汰ではない。
これが恥でなくてなんであろうか。

http://peace.2ch.net/test/read.cgi/eleven/1378474018/44
0047名刺は切らしておりまして
垢版 |
2017/07/30(日) 15:47:10.71ID:4GhABuQB
日本でも出している量産用7nmステッパーは「ArF液浸方式」という純水
に浸して露光するものだが、これは水の屈折率1.4という特性を利用
することで、集積回路マスクが従来より1.4倍も大きく出来るメリットと、
水の表面の凹凸がゼロの性質と屈折率1.4を利用して7nmまで可能
にした。

5nmからは弱レントゲン線光となり、真空中で金属凹反射鏡を使って集
光となるが、従来のレンズ使用より数十倍も困難なことが素人でも分か
るものだ。金属凹反射鏡の表面を水のように凹凸がゼロでなければ話
にならない。

従来レンズ時代のステッパーでも凹反射鏡のアイデアも合ったが、なに
せレンズより数十倍も難しいことから実用化されなかった。
0048名刺は切らしておりまして
垢版 |
2017/07/30(日) 17:13:36.22ID:HoFlPgSB
ニコンは去年の2月に7nm対応のArF液浸ステッパーを出したけど・・
続いて12月に半導体事業で1000名リストラ。
半導体製造装置を実質見切ったんじゃないの?
0049名刺は切らしておりまして
垢版 |
2017/08/02(水) 01:41:25.66ID:SCfHE8mP
>>1
>サムスンは新たな製造技術「EUV露光」を使った
>7nmを2018年、その次の5nmを2019年、4nmを2020年に
>顧客から注文を受ける方針を伝えた。


サムスンがクアルコムから7nmの受注に失敗
クアルコムが7nmチップの発注先をTSMCに変更した背景に2つの理由がある。
その2とは・・・・
・サムスンの7nmのEUV露光開発が遅れていること。
・サムスンにはTSMCがApple「iPhone 7」向けに提供した三次元の積層システムチップ(SoC)
 積層技術がないこと。
0050名刺は切らしておりまして
垢版 |
2017/08/02(水) 02:16:50.57ID:VtNTgK9M
> 2017年6月6日、IBMがGLOBALFOUNDRIESと協力して世界初のEUVステッパー
> を使って5nmの単純な微小トランジスターの製造に成功した。
> しかし、複雑で高密度LSIの製造となると、実用化に10〜15年は必要だろうとした。


10〜15年は必要とする理由はASML社の試作EUV露光で25nm、20nm、15nmで
真ともに高密度LSIを作くったところが無い。

EUV(弱レントゲン線)はレンズが一切使えないから、金属凹面鏡を何枚も使ってレ
ントゲン光線を反射させながら小さく絞って行くが、問題はこの凹面鏡に10nmの
凹凸が有るだけで光線が乱れてしまう。

物理的にガラスレンズと違って金属面鏡の表面を10nm以下にツルツルにする技術
が確立してないことだ。

レンズはコーティングすることで表面は1nm以下のツルツルになるから可能になる。
まして45nm〜7nmの「ArF液浸方式」は純水の屈折率1.4を利用する水の表面の
凹凸はゼロnmだ。

金属面鏡にコーティングは出来ない。空気に触れるだけでもレントゲン線は劣化す
る液体コーティングは論外だ。金の蒸着などは表面が1000nmの凸凹になる。

IBMが5nmの単純な微小トランジスター(8本のトランジスターが立った物)の製造に
成功した物は、元のマスクが大きく単純な物で、これを最低限の2回程度の反射
で集光させて成功させた。大きな反射鏡に大きなマスク(8本のトランジスター)だけ
なら、8本のトランジスターパターンより反射鏡の凹凸が小さく影響しないからだ。

この単純で大きなマスクサイズで高密度LSIのマスクを作ったら、100メートル以上
の巨大マスクと、直径100メートル以上の巨大な凹面鏡が数枚が必要となり、実用
化に10〜15年は必要だろうとする理由だ。
 
0052名刺は切らしておりまして
垢版 |
2017/08/02(水) 19:13:47.05ID:prsYZN1B
>>51
ソニーみたいにNYに上場して
日本企業と対等な立場になってから言おうな
0053名刺は切らしておりまして
垢版 |
2017/08/02(水) 19:16:00.03ID:h5f8UFd9
++++++++++++++++++++++++


日本でも 言論の自由がなくなるぞ!

安倍は憲法改正で 国民の主権と
言論の自由を奪うつもりだ。

http://www.data-max.co.jp/280503_ymh_1/

マスコミは 意図的に 9条しか報道しないが
真の怖さは 21条など言論の自由を奪うことだ。

https://www.youtube.com/watch?v=h9x2n5CKhn8

上のビデオで 自民党は 日本人には基本的人権
は必要ない と言っている。

http://xn--nyqy26a13k.jp/archives/31687

都民ファーストも 大日本帝国憲法を復活させ
ようとする 安倍自民の別働隊だから注意。

国政では 売国自民と 小池ファーストには
投票しないように。 民主主義が崩壊する。

万が一の国民投票に備えて 安倍自民の真の
怖さは 9条以外にあることを ネットで広めてほしい。


+++++++++++++++++++++++
0054名刺は切らしておりまして
垢版 |
2017/08/02(水) 20:41:42.69ID:QtOO4CCk
EUV(弱レントゲン線)の露光ステッパー

ASML社はレンズメーカーでは無いんだなあ。
レンズはカールツァイスに丸投げです。

ガラスの凹面鏡なら可能だろうけど、
金属の凹面鏡となるとレンズ屋には未知の世界なんだ。
金属の表面の凹凸を10nm以下なんかやり方すら分からない。
ミクロン単位の工作機の凹凸なんか手作業磨きだよ。
それがnmとなると人間の手なんかでも不可能です〜
それに金属はnm単位なんか指先の温度で簡単にゆがむ。

レントゲン線はガラスの凹面鏡なんか透過してしまう。
金属でもアルミなんかはレントゲン線を透過してしまう。

このレントゲン線を透過せず反射させる最適な金属として
モリブデン鋼とされているが、このモリブデンがタングステンの
次に硬い重金属で、ブルドーザーや戦車のギアに使われる
レアメタルで超硬金属で加工は超難しいんだよ。
0055名刺は切らしておりまして
垢版 |
2017/08/03(木) 00:20:50.18ID:VE1v8i5K
>>20
キヤノンはナノインプリント方式で巻き返しをはかってる

これはサムスンが凄いんじゃなくて
半導体製造装置を作ってるASMLが凄いだけじゃん

もちろん最先端の製造装置を買ってくれるサムスンの資金力と投資戦略があって初めて実現できることだけど
0056名刺は切らしておりまして
垢版 |
2017/08/03(木) 04:17:03.94ID:Cz1HstB0
金属の凹面鏡

金属専門家に言わせると金属の10、5nm単位は金属のナノ結晶の
一粒一粒が露出して見える状態であり、この金属結晶のつぶつぶ
の結晶を削て、つぶつぶ面で反射させている。つまり"つぶつぶ"の
一粒づつの結晶面でバラバラに反射させているようなものだから
反射が乱れて当然だということだ。

金属結晶が無い、単一結晶の金属でも発明されない限り不可能
な話しだそうだ。

レンズなんか大型単結晶でつぶつぶ結晶でないから半導体光学
系に使えた。

こういった理由で金属の凹面鏡の問題で、ニコンはEUV(弱レン
トゲン線)の露光ステッパーにダメだしの結論を出したらしいけど。
0059名刺は切らしておりまして
垢版 |
2017/08/06(日) 05:35:13.88ID:XpExs7xb
EUV(弱レントゲン線)の光源も相当問題があるし。
均一でないばらつき。
コイツも発生源から何回も反射させ行くよ。
0061名刺は切らしておりまして
垢版 |
2017/08/07(月) 21:59:06.03ID:vXcg6yb3
ASML社は7〜5nm用のEUV(弱レントゲン線)露光ステッパーを
20台も買ったのはサムスンと言っているよ。
0062名刺は切らしておりまして
垢版 |
2017/08/07(月) 22:07:22.15ID:8Vzu96yf
高すぎて日本企業には買えないからねwwwwww
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