0001しじみ ★
2018/09/03(月) 22:23:44.36ID:CAP_USERガリウム・ヒ素の結晶を加工し、両端が固定された板バネ構造のMEMSを作成した。このバネを振動させると固定端にひずみが生じる。ひずんだ部分の原子は核磁気共鳴の周波数が影響を受ける。
実験で板バネの振動を増減させたところ、5キロヘルツほど共鳴周波数を動かすことに成功した。共鳴周波数を変化させたり、混ぜることができた研究は世界初という。このMEMSの構造は半導体素子に集積できる。NTTが素子作製と計測、産総研がデータ解析などを担当した。
■板バネMEMSと根元の核磁計共鳴変化のイメージ(
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