0917山師さん垢版 | 大砲2021/06/30(水) 12:46:26.33ID:KFaAVyL5 >>889 2019年4月4日(2年3ヶ月経過) プラズマ処理装置用の部材、及び当該部材を備えるプラズマ処理装置 https://astamuse.com/ja/published/JP/No/2020170804 日本タングステン株式会社、東京エレクトロン株式会社