>>889

2019年4月4日(2年3ヶ月経過)

プラズマ処理装置用の部材、及び当該部材を備えるプラズマ処理装置
https://astamuse.com/ja/published/JP/No/2020170804
日本タングステン株式会社、東京エレクトロン株式会社