0872Socket774垢版 | 大砲2019/04/16(火) 11:14:06.710 >>871 EUVになってもダイサイズは液浸と同じだよ マスクサイズが半分になるのは高解像で反射角が急になるHigh-NAの装置から ロードマップでは装置の登場は2022年以降 https://pbs.twimg.com/media/Dp-BoDBXcAARQ17.jpg