>>871
EUVになってもダイサイズは液浸と同じだよ

マスクサイズが半分になるのは高解像で反射角が急になるHigh-NAの装置から
ロードマップでは装置の登場は2022年以降
https://pbs.twimg.com/media/Dp-BoDBXcAARQ17.jpg