想定より歩留りが悪い、性能が上がらない、(歩留り以外の)コストが下がらないのどれかだろうな。
基本、性能上がってコストも下がるから微細化する意味があるんだが、そうならないなら進める理由がない。

EUVなしのintel 10nmや、TSMC、GFの7nmはマスク数や工程数も半端無いらしい。工程増えると検証工程も増える。ただ、それもわかっててスケジュール組んで遅れてるわけだから、本質的な想定外が何かあったんだろな。
自分も教えてほしい。