TSMCとSamsungのEUV争奪戦の行方 〜“逆転劇”はあり得るか？ (1/5)
https://eetimes.jp/ee/articles/2012/10/news046.html


EUVの開発があまりにも難しいため、図1のようなスライドを使ってその困難さを説明した発表があった。
https://image.itmedia.co.jp/ee/articles/2012/10/l_mm201210_nanofocus_01.jpg


(□。□-) フムフム