GAAトランジスタで国内唯一のパイロットライン…産総研

　産業技術総合研究所先端半導体研究センターは、ゲートオールアラウンド（GAA）構造トランジスタを試作できる共用パイロットラインを確立した。半導体装置メーカーや材料メーカーは量産用の直径300ミリメートルウエハーで自社技術を検証できる。国内唯一のパイロットラインになる。
https://news.yahoo.co.jp/articles/eaec257871d1472a85e112010e247d413078d084