【半導体】半導体ウエハー洗浄時のナノ構造倒壊、北大などが撮影に成功した意義 [すらいむ★]

**すらいむ ★** · 2022/08/08(月) 21:15:01.19

半導体ウエハー洗浄時のナノ構造倒壊、北大などが撮影に成功した意義

　北海道大学の木村勇気准教授らはSCREENホールディングスと共同で、半導体ウエハーの洗浄時に微細構造が壊れる様子を撮影することに成功した。
　透過型電子顕微鏡の真空中で液体に濡れたナノ構造体を乾燥させる。
　わずかに残った水が表面張力で構造物を倒壊させた。
　先端半導体製造プロセスの課題解決につながる。

（以下略、続きはソースでご確認ください）

ニュースイッチ　8/8(月) 16:10
https://news.yahoo.co.jp/articles/b13b5cbd813b6d27c1129e5f9dd9aa4cc23bc181

**名無しのひみつ** · 2022/08/08(月) 21:30:27.35

北海道大学出身の人を複数人知ってるがみんなのほほんとした人ばかり
こういうこともできるんだな

**名無しのひみつ** · 2022/08/08(月) 21:45:16.78

洗浄に代わる何かができればムズい

**名無しのひみつ** · 2022/08/08(月) 22:05:58.38

ではどうすれば良いのか？
もっと表面張力の小さい液体で再洗いして水を奪い、
真空乾燥すればいいのか？

**名無しのひみつ** · 2022/08/08(月) 22:47:54.13

ウエハースのお菓子って減ったよね(´･ω･｀)
今どきの子どもには人気ないのかな？

**名無しのひみつ** · 2022/08/08(月) 23:13:52.36

>>4
磯プロパノールで洗ったけど、粗い切れなかった水が最後まで残ってしまった
水にはいろんな状態があるから表面張力を消す温度圧力条件があるかもしれない

**名無しのひみつ** · 2022/08/09(火) 00:12:26.55

虫より弱いな

**名無しのひみつ** · 2022/08/09(火) 06:01:39.02

大日が昇華乾燥で
東エレクが臨界洗浄

**名無しのひみつ** · 2022/08/09(火) 07:40:52.42

これ何気にすごいな(´ω｀)

**名無しのひみつ** · 2022/08/09(火) 08:08:39.94

in-situ TEMとはいえ、カラム内に揮発成分入れるの怖い

**名無しのひみつ** · 2022/08/09(火) 10:07:16.44

>>4
乾燥の過程を予測して倒壊しにくい構造にするってのが先かな

**2chのｴﾛい人がんばれ！くまモン！** · 2022/08/09(火) 12:19:13.09

この程度で倒壊するとか、根性が足りないんだろ。

**名無しのひみつ** · 2022/08/09(火) 13:19:30.44

水の表面張力程度で壊れるのか

**名無しのひみつ** · 2022/08/09(火) 14:03:27.96

>>5
関係無い話で悩まない

**名無しのひみつ** · 2022/08/09(火) 14:13:32.97

洗浄液にも高度技術が必要になるってこと？

**名無しのひみつ** · 2022/08/10(水) 04:44:16.35

話は聞いたなしはニダ
共同研究しないニダか？

**名無しのひみつ** · 2022/08/10(水) 05:10:30.87

これって普通の企業なら秘密にして自分の会社だけ
高性能なものを作るわけだよね。
みんなに教えててエライけど、だから日本企業は全部ダメになってくんだよね。
海外は秘密でやってるのに、日本は全部公開するんだもん。

**名無しのひみつ** · 2022/08/10(水) 13:38:52.22

黒い食器を洗剤付けて洗ったあとに、乾燥したときの、あの微妙に残る乾燥痕

**名無しのひみつ** · 2022/08/10(水) 23:16:34.43

臨界CO2とかなかった？

**名無しのひみつ** · 2022/08/11(木) 00:31:47.18

>>19
それをいうなら超臨界co2な

**名無しのひみつ** · 2022/08/12(金) 13:45:24.55

無水エタノールとか、無水エーテルとかを使うのではだめかなぁ？

**名無しのひみつ** · 2022/08/12(金) 14:15:54.30

コストかかりすぎだから

**名無しのひみつ** · 2022/08/13(土) 00:53:05.56

しかたがないから、倒れないように、しっかりせよと抱き起こしじゃないが、
梁（はり）を入れたり、かすがいのような仕組みを導入したりするか。
表面張力を弱くするために、乾燥時の温度を上げるとか。