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【半導体】半導体ウエハー洗浄時のナノ構造倒壊、北大などが撮影に成功した意義 [すらいむ★]
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0001すらいむ ★垢版2022/08/08(月) 21:15:01.19ID:CAP_USER
半導体ウエハー洗浄時のナノ構造倒壊、北大などが撮影に成功した意義

　北海道大学の木村勇気准教授らはSCREENホールディングスと共同で、半導体ウエハーの洗浄時に微細構造が壊れる様子を撮影することに成功した。
　透過型電子顕微鏡の真空中で液体に濡れたナノ構造体を乾燥させる。
　わずかに残った水が表面張力で構造物を倒壊させた。
　先端半導体製造プロセスの課題解決につながる。

（以下略、続きはソースでご確認ください）

ニュースイッチ　8/8(月) 16:10
https://news.yahoo.co.jp/articles/b13b5cbd813b6d27c1129e5f9dd9aa4cc23bc181
0002名無しのひみつ垢版2022/08/08(月) 21:30:27.35ID:UNN3hb5u
北海道大学出身の人を複数人知ってるがみんなのほほんとした人ばかり
こういうこともできるんだな
0004名無しのひみつ垢版2022/08/08(月) 22:05:58.38ID:Fidx3HbI
ではどうすれば良いのか？
もっと表面張力の小さい液体で再洗いして水を奪い、
真空乾燥すればいいのか？
0005名無しのひみつ垢版2022/08/08(月) 22:47:54.13ID:OxXQM7x3
ウエハースのお菓子って減ったよね(´･ω･｀)
今どきの子どもには人気ないのかな？
0006名無しのひみつ垢版2022/08/08(月) 23:13:52.36ID:BwPVr+kU
>>4
磯プロパノールで洗ったけど、粗い切れなかった水が最後まで残ってしまった
水にはいろんな状態があるから表面張力を消す温度圧力条件があるかもしれない
0007名無しのひみつ垢版2022/08/09(火) 00:12:26.55ID:a/KWUvQN
虫より弱いな
0009名無しのひみつ垢版2022/08/09(火) 07:40:52.42ID:cRcf8jaM
これ何気にすごいな(´ω｀)
0010名無しのひみつ垢版2022/08/09(火) 08:08:39.94ID:w6kvkdHd
in-situ TEMとはいえ、カラム内に揮発成分入れるの怖い
0011名無しのひみつ垢版2022/08/09(火) 10:07:16.44ID:6jh6qOcZ
>>4
乾燥の過程を予測して倒壊しにくい構造にするってのが先かな
0014名無しのひみつ垢版2022/08/09(火) 14:03:27.96ID:y4pJ7WVO
>>5
関係無い話で悩まない
0015名無しのひみつ垢版2022/08/09(火) 14:13:32.97ID:LBV5ggM2
洗浄液にも高度技術が必要になるってこと？
0016名無しのひみつ垢版2022/08/10(水) 04:44:16.35ID:UtZv6Sh2
話は聞いたなしはニダ
共同研究しないニダか？
0017名無しのひみつ垢版2022/08/10(水) 05:10:30.87ID:6RXC6UzQ
これって普通の企業なら秘密にして自分の会社だけ
高性能なものを作るわけだよね。
みんなに教えててエライけど、だから日本企業は全部ダメになってくんだよね。
海外は秘密でやってるのに、日本は全部公開するんだもん。
0018名無しのひみつ垢版2022/08/10(水) 13:38:52.22ID:wfYWUt8l
黒い食器を洗剤付けて洗ったあとに、乾燥したときの、あの微妙に残る乾燥痕
0021名無しのひみつ垢版2022/08/12(金) 13:45:24.55ID:zWg4z/4A
無水エタノールとか、無水エーテルとかを使うのではだめかなぁ？
0023名無しのひみつ垢版2022/08/13(土) 00:53:05.56ID:hh9HnKCg
しかたがないから、倒れないように、しっかりせよと抱き起こしじゃないが、
梁（はり）を入れたり、かすがいのような仕組みを導入したりするか。
表面張力を弱くするために、乾燥時の温度を上げるとか。
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