ラピダスの勝機は全プロセスの枚葉処理だと思うよ。
バッチと違って生産性は悪いが、試作や評価のスピードは上げやすい。
LP-CVDのような工程も枚葉機を作ったのだろうか。

枚葉方式が歩留まり向上にも繋がれば勝てると思うが。