【半導体材料】低温プロセスで高性能な多結晶酸化物半導体ナノシート、NAISTなどが開発 [すらいむ★]

[1 すらいむ ★ 2025/06/09(月) 22:49:20.27 ID:66/xPYXV]

低温プロセスで高性能な多結晶酸化物半導体ナノシート、NAISTなどが開発

　奈良先端科学技術大学院大学(NAIST)と、東京科学大学(科学大)は、化学反応を用いて薄膜を合成する原子層堆積(ALD)法を用い、高性能・高機能な多結晶酸化物半導体「ガリウム添加三酸化インジウム(poly-IGO)ナノシート」の開発成功を6月6日に共同発表。
　さらに、これをチャネルに用いた電界効果トランジスタ(FET)も開発した。

（以下略、続きはソースでご確認ください）

マイナビニュース　2025/06/09 18:05
https://news.mynavi.jp/techplus/article/20250609-3349405/

[2 名無しのひみつ 2025/06/10(火) 02:13:38.07 ID:/7NSeLH7]

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[3 名無しのひみつ 2025/06/10(火) 11:48:09.23 ID:hRPfhYYx]

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