【半導体】先端半導体向けEUV露光装置の大幅な省エネ実現 OIST [すらいむ★]

**すらいむ ★** · 2024/08/13(火) 23:11:08.87

先端半導体向けEUV露光装置の大幅な省エネ実現沖縄科技大

　人工知能（AI）など大量の情報処理が求められる先端半導体の製造に欠かせない「EUVリソグラフィー（極端紫外線露光装置）」の大幅な省エネやコスト削減を図る技術を、沖縄科学技術大学院大学（OIST）の新竹積教授（物理工学）が開発した。
　装置で使用する反射鏡を従来の10枚から4枚に減らし、消費電力を10分の1に抑えた。
　実用化できれば1社独占の技術に一石を投じ、先端半導体製造分野で日本勢が巻き返す可能性も秘めているという。

（以下略、続きはソースでご確認ください）

Science Portal　8/13(火) 18:23
https://news.yahoo.co.jp/articles/3eced01992a7c3d967f013e9aa7f7bad73f7a3ca

**名無しのひみつ** · 2024/08/14(水) 01:48:32.54

テクノロジー犯罪被害フォーラム | 特定非営利活動法人 ...
https://www.tekuhan.org/cont13/main.html
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**名無しのひみつ** · 2024/08/14(水) 01:49:30.53

>>2

消費電力も落ちますか

**名無しのひみつ** · 2024/08/14(水) 02:03:33.77

これの実用化や量産には国費が投じられても仕方がない

**名無しのひみつ** · 2024/08/14(水) 05:18:12.90

今の日本で作れるなら中国でも
まあ複製は出来ても設計は出来ないか

**名無しのひみつ** · 2024/08/14(水) 05:39:21.47

昔の日本はカメラメーカーがこういう装置作るの得意だったときいたけど、今はオランダメーカーがかなり強いらしいね。復活できると良いんだけど

**名無しのひみつ** · 2024/08/14(水) 05:57:28.36

いかりや長介「OIST！」

**名無しのひみつ** · 2024/08/14(水) 06:00:14.63

オランダ一人勝ちを許すな

**名無しのひみつ** · 2024/08/14(水) 07:34:42.29

日本はＯＩＳＴみたいのをあと２つは作るべき

**名無しのひみつ** · 2024/08/14(水) 08:01:31.50

ニコンもキヤノンもやってないから、この技術があったとて再挑戦する気があんのか微妙な気がするな。
誰に手を挙げずにSMICあたりに持ってかれるか、政府が金出してやらせたけど大損こきましたの二択になりそうな気がしなくもない。

**名無しのひみつ** · 2024/08/14(水) 08:17:05.42

>>1
これは画期的！
オランダの独占を崩せるな

**名無しのひみつ** · 2024/08/14(水) 09:17:45.11

>>7
同じ事を考えた奴がいたとは

**名無しのひみつ** · 2024/08/14(水) 14:40:18.35

>>9
JAISTやNAISTがあるよ
OISTとは少し違う形態だけど
iPSの山中教授も、iPSの研究始めたのはNAIST在籍時だからね

**名無しのひみつ** · 2024/08/14(水) 14:56:35.54

公立千歳科学技術大学
というのもあるがランクは落ちるか

**名無しのひみつ** · 2024/08/14(水) 15:02:08.26

総合研究大学院大学

JAIST
NAIST

東京都立産業技術大学院大学　これはちょっと落ちるが

光産業創成大学院大学　これは民間

**名無しのひみつ** · 2024/08/14(水) 16:04:54.85

製造装置は日本のお家芸だからな
でも、それを使って商品を売って儲けるのは外国企業
国内生産にまで持ち込めたらいいんだがな
せめて、TSMCとか日本に工場を作っている企業に優先的に卸すとかすればいいかもしれんが

**名無しのひみつ** · 2024/08/14(水) 16:24:23.52

>>5
中国に装置を作る技術なんてないよ。ただの組み立てしかできないし、それすらも怪しい。

**名無しのひみつ** · 2024/08/14(水) 16:26:32.78

これをキャノンとニコンで合弁会社作らせて、
開発生産させるべき？

**名無しのひみつ** · 2024/08/14(水) 18:43:16.68

韓国は失敗しようと何があろうとサムスンに国費を投じて今の地位を築いたんだからな

**名無しのひみつ** · 2024/08/14(水) 19:12:52.61

>>16
人材流出で昔のようには行かないかと

**名無しのひみつ** · 2024/08/15(木) 19:51:55.88

中国にダダ漏れか

**名無しのひみつ** · 2024/08/16(金) 05:33:03.76

東京エレクトロン来るか！

**名無しのひみつ** · 2024/08/16(金) 07:33:56.60

ニコンの株を買うべきか

**名無しのひみつ** · 2024/08/16(金) 07:34:34.19

ニコンの株を買うべきか

**名無しのひみつ** · 2024/08/16(金) 07:44:37.28

キヤノンは別方式のこれかもしれんがやってるだろう
製造にかかる電力が大幅にへるヤツ
Intelあたりと組んでたと思ったが上手くいってないのか

**名無しのひみつ** · 2024/08/16(金) 07:54:00.12

新竹積教授って1955年生まれ、だと
文化勲章と学士院賞かな

**名無しのひみつ** · 2024/08/16(金) 07:59:32.33

オランダのASMLの最新型EUV露光装置の値段は一説に590億円で、そんな高い装置の顧客はIntel, Samusung, tsmc に限られる、だと

新竹教授の技術を使えば推定で200億円くらいに抑えられる、とか

ASMLは没落するだろう

**名無しのひみつ** · 2024/08/16(金) 08:06:50.22

日本の半導体製造装置が復活するかもしれん

分子研の量子コンピュータは世界のトップランナー

貿易収支が黒字になるかも

**名無しのひみつ** · 2024/08/16(金) 08:07:37.92

日本の半導体製造装置が復活するかもしれん

分子研の量子コンピュータは世界のトップランナー

貿易収支が黒字になるかも

**名無しのひみつ** · 2024/08/16(金) 09:46:33.25

「従来のEUVリソグラフィーでは、少なくとも６枚の反射ミラーが必要という固定観念からすると、想像を絶するほど単純な構成です。これは光学の収差補正理論を慎重に見直すことで可能となりました。量子物理学以前の古典物理学の勝利です」

**名無しのひみつ** · 2024/08/16(金) 11:36:34.61

>>27
ASMLが囲い込みというか買い取りに来そう
日本発で比較的安いEUV露光装置を売り出されたらやばいもんね

**名無しのひみつ** · 2024/08/16(金) 11:58:15.06

>>28
別に日本製が凋落してるわけじゃないし。

**名無しのひみつ** · 2024/08/16(金) 14:43:28.01

https://scienceportal.jst.go.jp/newsflash/20240813_n01/

新竹教授は「国産化できると思う。日本の半導体メーカーが再び黄金期を迎えられればいい」と展望を語る。今後は研究と並行して産学連携で光学機器メーカーや半導体メーカーに実用化の協力を仰ぎ、これまで日本が得意としていた半導体製造技術の巻き返しを図りたいという。社会実装できれば、世界中の半導体メーカーに販売でき、現在の一社独占市場を切り崩すことができると考えている。

**名無しのひみつ** · 2024/08/16(金) 14:50:40.61

https://arxiv.org/abs/2405.11717

査読前のプレプリント

**名無しのひみつ** · 2024/08/16(金) 15:21:12.38

NAが0.2って時点で、論外じゃん

**名無しのひみつ** · 2024/08/16(金) 19:08:36.48

https://www.oist.jp/ja/news-center/news/2024/7/29/innovative-euv-lithography-technology-dramatically-increases-energy-efficiency-and-reduces-capital

" 従来の常識を覆し、わずか４枚の反射ミラーで構成された新型EUVリソグラフィーが７nmノード以降の先端半導体の微細化に貢献。"

**名無しのひみつ** · 2024/08/17(土) 01:03:38.50

国費で作ってラピダスやルネサスとかに無理やりねじ込んでいくらか実績つめば海外にも売れるかも

**名無しのひみつ** · 2024/08/17(土) 01:27:42.72

>>36
DUVで7nmどころか5nmも作れるわけで、このNAが0.2しかないという点で従来の常識を覆したなんちゃってEUVの
競争相手は、DUVなんだ

**名無しのひみつ** · 2024/08/17(土) 10:20:28.22

耳鼻科などの医者が使っているような、中央に穴のあいた凹面鏡（天体望遠鏡にもそういう
鏡がある）を使えば、もっと良くできたりしないのかね。

**名無しのひみつ** · 2024/08/17(土) 17:27:25.67

>>38
たとえNAが0.2でもDUVで対抗するにはマルチパターニングが必要でパターンに制限が加わるし工数とコストが増す
DRAMやFLASHでは引き合いがあるだろな

**名無しのひみつ** · 2024/08/17(土) 19:14:52.96

遠紫外線（軟X線）の反射鏡としてはどのような材料を
使っているのだろうか。タングステンなどのような
重たい金属元素か。
それともガラスとかセラミックがベースでその
表面に重たい金属で多層コーティングを施すの
だろうか？そういうあたりが秘密か？

**名無しのひみつ** · 2024/08/17(土) 19:34:06.76

>>35
何でだめか具体的に

**名無しのひみつ** · 2024/08/17(土) 21:20:12.09

EUVは、光源の出力が目標値に達しなくて
なかなか実用化出来なかったらしいな

**名無しのひみつ** · 2024/08/21(水) 23:53:58.67

>>17
日本国内の記事ばかり見てると井の中の蛙になっちゃうよ。

**名無しのひみつ** · 2024/08/25(日) 05:10:31.97

限界に近い露光装置はその癖を知り抜き、運転している途中のパラメタの変動などを
把握して補正をかけるとか、いろいろな表には出ないコツを把握することが必要らしく、
買って来て据え付けて、さああしたからフル生産だ、みたいなことにはならないそうだ。
だから新型・新機構の露光装置が他メーカーから出て来て半値だからといって、
それを使いこなせるようになるまでに数年の修練修養が必要だとすれば、かなり余裕の
あるところが試験的に入れてみる程度ことになるのではないかな。何しろ実績が少ない
から、設備投資としてみたときリスキーになる。

**名無しのひみつ** · 2024/08/25(日) 23:20:48.75

As it turns out, however, EUV monopolist ASML and its optics suppliers Zeiss have already considered similar setups. “Zeiss has several designs available with similar/better performance than the Shintake design,” an ASML spokesperson told Bits&Chips.
https://bits-chips.nl/article/despite-superior-efficiency-japanese-four-mirror-euv-setup-unlikely-to-make-waves/

**名無しのひみつ** · 2024/08/27(火) 01:19:42.37

少なくとも、そばを電車が走ると数ナノメートルの揺れが光学系に加わるような
工場では作れん。

**名無しのひみつ** · 2024/08/27(火) 06:22:08.74

さすがに部品が壊れたか
プラスマイナス300度くらいの熱に耐えなきゃ行かんからな
金属疲労だって起きるわ

**名無しのひみつ** · 2024/08/27(火) 16:38:55.60

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**名無しのひみつ** · 2024/08/27(火) 18:33:58.09

>>49
じゃあ一度やってみるか