【半導体】OIST、消費電力従来比1/10以下のEUVリソグラフィー半導体製造技術を提案 [すらいむ★]

[19 名無しのひみつ 2024/08/01(木) 22:23:46.69 ID:kQbggS/+]

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半導体向けEUV露光装置　沖縄科技大、低コスト化技術
https:
//www.nikkei.com/article/DGXZQOCD319PO0R30C24A7000000/
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半導体露光装置コスト大幅減、消費電力1割　沖縄科技大
https:
//www.nikkei.com/article/DGXZQOCD295360Z20C24A7000000/