OIST、消費電力従来比1/10以下のEUVリソグラフィー半導体製造技術を提案

　沖縄科学技術大学院大学(OIST)は7月29日、小型のEUV光源でも動作し、消費電力が従来の10分の1以下にまで減らせる、これまでの先端半導体製造の常識を覆す「EUV(極端紫外線)リソグラフィー」技術を提案したことを発表した。

　同成果は、OIST 量子波光学顕微鏡ユニットの新竹積教授によるもの。
　査読前プレプリントが「arXiv」に掲載されている。

（以下略、続きはソースでご確認ください）

マイナビニュース　2024/07/30 19:09
https://news.mynavi.jp/techplus/article/20240730-2995773/