【半導体技術】名大など、独自開発したプラズマ技術で金属炭化物のドライエッチングに成功 [すらいむ★]

**すらいむ ★** · 2022/12/19(月) 20:14:48.88

名大など、独自開発したプラズマ技術で金属炭化物のドライエッチングに成功

　名古屋大学(名大)は12月16日、独自開発した「フローティングワイヤープラズマ」にアンモニア水蒸気を導入することにより、チタンとアルミの3元金属炭化物「TiAlC」の表面変質層を形成し、この材料を揮発除去するドライエッチングに成功したことを発表した。

（以下略、続きはソースでご確認ください）

マイナビニュース　2022/12/19 19:36
https://news.mynavi.jp/techplus/article/20221219-2541513/

**名無しのひみつ** · 2022/12/19(月) 20:34:31.43

ドライエッチって痛いよな

濡れてないからペペが必要かと

**名無しのひみつ** · 2022/12/19(月) 20:43:19.98

流石メーダイ

**名無しのひみつ** · 2022/12/19(月) 22:07:39.64

スゲーな
どんどん印刷技術に過ぎないものが高度化していくのな

**名無しのひみつ** · 2022/12/20(火) 10:37:06.38

>フローティングワイヤープラズマとは、ガラス容器の中に、電気的に浮遊している導電性の細線(フローティングワイヤー)を設置して、
その細線に高周波を誘導結合で電力を印加して、容器内に広範囲にプラズマを生成する技術だ。プラズマ生成する圧力範囲が大気圧
(10万Pa)から低圧(数Pa)までと幅広く、特にこれまで困難とされている数百Paから数万Paの圧力範囲で、高密度(～1015cm-3)
プラズマの生成や、蒸気を原料とするプラズマの生成も可能である。

金属を電子レンジにかけて火花を出す奴の超すごい版かな

**名無しのひみつ** · 2022/12/20(火) 14:19:47.11

どえらいエッチだがね！

**名無しのひみつ** · 2022/12/20(火) 21:26:36.68

エッチなのはいけないと思います！

**名無しのひみつ** · 2022/12/20(火) 22:18:44.89

etchだな
原子的食い込みかぁ

**名無しのひみつ** · 2022/12/21(水) 00:34:00.69

コンタミはどうなんだろ？

**名無しのひみつ** · 2022/12/21(水) 17:42:59.04

ドライエッチとか痛そう

**名無しのひみつ** · 2022/12/22(木) 02:00:24.34

大槻教授を最近見ないな

**名無しのひみつ** · 2022/12/23(金) 05:38:50.27

>>3
発音が違うな、「メェエダイ」やで

**名無しのひみつ** · 2022/12/23(金) 05:57:58.76

さっぱり分からんが装置化できて集積回路の微細化と製造コストのダウンになるならば歓迎