電技14条等を読み取ると漏洩電流を管理する要件は「測定が困難な場合」とありますね。
さらに主旨は漏電による火災と感電を防ぐためですよと。
つまり機器が高額等といった理由を妨げるものが無いので問題はないのではないかと思います。
また半導体の研究施設との事ですから機器も精密機器であると推測されますので、何も頑張ってメガ当てなくて良いと思いますよ。

心配なら電安課に是非を問えば良いと思います。
親切に教えてくれると思います。