【半導体技術】SiCの研磨効率を従来比で10倍向上させる加工技術を立命館大が開発 [すらいむ★]

**すらいむ ★** · 2021/12/01(水) 12:36:28.35

SiCの研磨効率を従来比で10倍向上させる加工技術を立命館大が開発
著者：小林行雄

　立命館大学は11月30日、次世代パワー半導体材料であるSiCの研磨効率を従来の10倍に向上させる加工技術の開発に成功したことを発表した。

　同成果は、同大理工学部機械工学科2020年度卒業生のChe Nor Syahirah Binti Che Zulkifle氏、同大理工学研究科博士課程前期課程機械システム専攻2回生の巴山顕真氏、および同村田順二准教授らの研究グループによるもの。
　詳細はElsevier発行の国際学術雑誌「Diamond and Related Materials」に掲載された。

（以下略、続きはソースでご確認下さい）

マイナビニュース　2021/11/30 19:46
https://news.mynavi.jp/article/20211130-2209238/

**名無しのひみつ** · 2021/12/01(水) 12:51:49.38

Che Nor Syahirah Binti Che Zulkifle氏

中国人？

**名無しのひみつ** · 2021/12/01(水) 13:53:12.75

インド人では。

**名無しのひみつ** · 2021/12/01(水) 14:12:27.62

どうするのかな？　ダイヤの粉を使って磨くのかな？それともサファイアの粉か？
それともシリカを使うのか？

**名無しのひみつ** · 2021/12/01(水) 16:10:54.50

スラリーだけで研磨できるのかな
電解メッキで何か均一についてるから剥がす

**名無しのひみつ** · 2021/12/01(水) 17:02:31.74

SiC研磨職人の朝は早い

**名無しのひみつ** · 2021/12/01(水) 17:03:23.59

加工機を10台並べる

**名無しのひみつ** · 2021/12/01(水) 21:59:51.66

変質部分は除去できるの？

**名無しのひみつ** · 2021/12/02(木) 00:14:06.29

>>1
SiCで研くのかと思ったら
SiCを磨くのか

ややこしい

**名無しのひみつ** · 2021/12/02(木) 00:48:27.82

立命館大学って地味に日本を強くする研究成果が多いな

**名無しのひみつ** · 2021/12/02(木) 01:13:48.40

その研究者、立命館出身じゃないだろ（笑）

**名無しのひみつ** · 2021/12/02(木) 01:15:36.59

シリコンを磨くのに、クルミの皮の粉と酸化セレン粉末だとかを使うとかなんとか。

**名無しのひみつ** · 2021/12/02(木) 13:48:56.41

ベンガラを水で練ってから薄くウェーハーに塗って、
ウレタン樹脂をあてて研磨機で磨くのかな？それとも鹿革を使うのかな？

**名無しのひみつ** · 2021/12/02(木) 19:04:32.76

研磨に使う電気を流す極に、電流を流しながら研磨するとか？

**名無しのひみつ** · 2021/12/11(土) 19:48:55.43

>>2
マレーシアのようだった