PC WatchではIntel-Micronの768Gbit 3D NANDについて設計ルール約50nmと推定してるね
http://pc.watch.impress.co.jp/docs/column/semicon/20151210_734478.html
Micronのスライドによれば、3D NANDの(多値記録の)レベルあたり保持電子数は
プレナーNANDで言うとルール60nmくらいに相当するみたい
http://pc.watch.impress.co.jp/docs/column/semicon/20150401_695653.html
http://pc.watch.impress.co.jp/img/pcw/docs/695/653/photo009.jpg
