0fill、1fillの目的はNANDを0bit、1bitで埋めてコントローラが
secure eraseに近い動作してくれるのを期待することだから
各々個別にやっても意味ないよ？
全フォーマット -> /system、/cache、/data全部0fill -> 全フォーマット

まぁやったところで効果どころか期待通りに動作してる保証すらないわけだけど